WDIS 晶圆定位及瑕疪检测系统
Wafer Mapping & Inspection System

产品应用简介

WMIS晶圆定位及瑕疵检测系统专为半导体厂晶圆目视检查需求所开发的系统，整合Wafer Mapping定位软体、晶圆检查专用光学显微镜、Wafer Loader与Prior Wafer Shuttle自动载物台，适用于 4 / 6 / 8 / 12寸晶圆即时瑕疵检测。

WMIS可读取客户的Wafer Map，完成与实际Wafer的座标定位对应，并提供预览影像，操作者可在萤幕上即时观察每一个Die有无Defect或Particle，并可针对Die的状况进行Defect Code或Bin Code的定义，于Wafer Map上以颜色呈现Bin Color。预览影像提供拍照存档功能，存档名称可自行定义，如Die的位置与瑕疵定义等。

产品功能特色

Wafer Mapping & Inspection Function

• 读取Wafer Map文字档相关资讯，即时产生对应Wafer Map。
• 手动三点定位，定位简易快速，误差小，可修正Wafer实际角度与位置偏差。
• 可自定义多点检测位置，如已公式计算多点检测位置，或自行设定固定检测位置。
• 可自行定义Defect类别，Defect分类可以颜色呈现。
• 可依每个Die的检测状况，选择Defect进行标记，并以颜色于Wafer Map呈现，方便检视与分辨，检测结果可记录于资料库或Wafer Map。
• 可将瑕疵状况进行拍照存档，存档名称可自行定义，如Die的位置加上瑕疵定义。
• 可根据客户需求，整合客户端资料库，将分析与检测结果存入资料库。
  
  

Measurement Function

• 提供多组比例尺建立，使用者可根据显微镜物镜建立对应比例尺，并可于影像上标注比例尺。
• 提供量测直线、角度、面积等多种量测工具。
• 提供进阶量测功能，如点到线距离、点到圆距离、线到圆距离等。
• 可于影像上进行标记或注解。
• 提供影像缩放功能、方便观察检测。
• 即时观测影像画面，减少检测者于显微镜上观测的疲劳度，并可显示十字线，方便检测与对位。
• 影像拍照存档成多种格式，如Tiff、JPEG等。
• 量测结果可汇出至文字档或Excel报表。
• 提供Time Lapse影像拍照功能，可设定拍照建隔时间与张数。
  
  
  

硬体规格

Motorized Stage for 4" / 6” / 8" / 12” Wafer Plate

* Stage Platform

1. Stage Plate fit for 8” Wafer
2. Stage movement on X-Y travel range:
   X: 255 mm , Y: 215 mm (10” x 8.5”)
3. Resolution: minimum step size of the stage is 0.1 um
4. Repeatability: +/- 4um open loop
5. Accuracy: +/- 8um 
6. Speed: 60 mm/sec maximum 
7. Stage shuttle movement to Wafer Auto
   Loader(NWL860), trigger loader to 
   load/unload 8” wafer into microscope

* Wafer Stage Control unit

1. Plus shuttle (includes vacuum switch)
2. Computer control interface port
   Between computer and Stage 
3. Use RS232C communication protocol.
   
   * Joy Stick : 3 Axis control joy stick